Optical/laser microlithography VIII - 22-24 February 1995, Santa Clara, California
- Författare
- (Timothy A. Brunner, chair/editor.)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Cop. 1995 | USA | 948 sidor. |